中新網深圳12月30日電 (記者 許青青)記者30日從深圳技術大學獲悉，該校半導體微納加工中心與測試平臺已于近日正式落成，填補了深圳市在“光載信息”和“智能傳感”半導體芯片領域的空白，將為粵港澳大灣區半導體產業高質量發展提供關鍵支撐。

　　據介紹，該平臺是內地高校系統中獨立建成的規模最大、工藝最完整、運營職業化的化合物半導體光電芯片公共服務平臺之一。中心建筑面積2600平方米，其中千級、百級及萬級潔凈區面積達2100平方米。是深圳市首個同時支撐化合物光電芯片與MEMS傳感芯片上游制造的公共服務平臺，配置120余臺套先進教學與研發工藝設備，構建起覆蓋光刻、刻蝕、薄膜沉積、切磨拋及測試表征等關鍵環節的全流程工藝體系，可提供“設計—加工—封裝—測試”一站式技術解決方案。

　　深圳技術大學黨委書記陳秋明表示，該校半導體微納加工中心與測試平臺依托學校集成電路與光電芯片學院資源，致力于成為集工藝教學、前沿研發、中試驗證和產業服務于一體的微納加工技術研發創新高地和人才培養基地，將加快破解半導體光電產業領域關鍵核心技術，推動半導體與集成電路領域研究成果的工程化突破、產業化應用、市場化推廣。

　　深圳技術大學還分別與清華大學深圳國際研究生院、深圳平湖實驗室、深圳國際量子研究院、南方科技大學深港微電子學院、深圳光峰科技股份有限公司、藍河科技(紹興)有限公司、騰璞顯示技術(深圳)有限公司、深圳市中科米格實驗室技術有限公司等科研院校及機構簽約，簽約內容涵蓋框架協議、聯合實驗室共建、員工互聘、校外實習實訓基地共建及項目合作等。(完)